ABB 07BR61R1 GJV3074376R1
不同的個人電腦。即使多個資源被分配給同一物理單元，每個資源在硬件結(jié)構(gòu)中都有一個單獨(dú)的表示。除了指定通信連接之外，硬件的配置還可用于進(jìn)行文檔化和合理性檢查。因此，可以對實(shí)際已安裝的內(nèi)容和已配置的內(nèi)容進(jìn)行比較。在硬件結(jié)構(gòu)的調(diào)試模式中，用不同的顏色標(biāo)記錯誤的插入或丟失的對象。4.2硬件結(jié)構(gòu)用戶界面4.2.1樹狀視圖硬件結(jié)構(gòu)樹狀視圖顯示所有硬件結(jié)構(gòu)對象。從系統(tǒng)對象開始，可以將其他層次級別輸入到設(shè)備級別。工作站通過在圖形視圖顯示中顯示相應(yīng)工作站的位置號輸入。每次插入站點(diǎn)或網(wǎng)關(guān)時，都會進(jìn)行位置查詢。每個對象都具有對象參數(shù)，如名稱、短文本和長文本。與對象相關(guān)的參數(shù)見工藝站的工程手冊。
ABB 07BR61R1 GJV3074376R1
Unit MFC, UFC-1660, He, 200 SCCM, sealed bag.
ROOKS AUTOMATION BROOKSNET I/O MODULE DEVICENET, 002-8
Hathaway HTO15O1A18HE Optical Encoder PSA-17-060
VAT Gate Valve 10416-5
Horiba stec LF-410A MFC, LF-410A-EVD, TEOS, 3.0 g/min,
MKS 122AA-01000BB, Baratron 1000 Torr
Aera MFC TC FC-980C, MULTI, MULTI-1
Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM
Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM
Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM
Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM
Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM
MKS 253B-22072 Throttle valve
Tylan General CMLA-11S06 Output: 0-10 VDC, Range: 0-10
4 Anelva TG-550B Vacuum TC gauge ThermoCouple, Novellus
Masterflex cole parmer 7552-76 washdown modular control
Novellus 27-270136-00 Brooks 108965 mapper, Thrubea
Tylan 2900 MFC FC-2900M-EP, Ar 20 SLPM lots of 2
AMAT 0020-18508 Backing Plate, Side Local Match, HDPCVD