ABB YPK112A
操作站是商業(yè)個(gè)人電腦，其中安裝了自由職業(yè)操作軟件程序，用于過程可視化。所有顯示和記錄都配置了軟件程序，并加載在操作員站。記錄和趨勢顯示的數(shù)據(jù)采集在工藝站進(jìn)行，所有的顯示和存檔都在操作員站進(jìn)行。每個(gè)處理站最多可以與10個(gè)操作員和/或網(wǎng)關(guān)站進(jìn)行通信。D-GS資源代表一個(gè)將系統(tǒng)連接到其他系統(tǒng)的網(wǎng)關(guān)。目前，目前都有針對任何OPC客戶端和單獨(dú)創(chuàng)建的應(yīng)用程序（DMS API）的網(wǎng)關(guān)。D-ES資源用于一個(gè)工程站，即配置工具自由職業(yè)工程。它出現(xiàn)在硬件結(jié)構(gòu)中。此顯示器僅用于文檔化目的。每個(gè)對象隨后都可以被參數(shù)化。除了默認(rèn)設(shè)置給出的對象名稱外，還可以分配短文本和長文本。I/O模塊上沒有開關(guān)：所有模塊的設(shè)置都可以在硬件管理器中進(jìn)行配置。
ABB YPK112A
JA-RELAY 1B-TM-DC24V-P 250 VAC 20 Pieces, Solid StateRe
TWO MKS MFC Type 649, 649A11T11CAVR-S?, Ar 10 SCCM
Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, Ar, 500 SCCM, S9115
Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, O2, 50 SCCM, S3072
Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, CHF3, 200 SCCM, S2029
Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, CHF3, 200 SCCM, S4272
AMAT 0140-09065 /chamber INTERFACE CABLE
AMAT 0226-09683 INTERFACE PUMP
TWO LAM RESEARCH 715-011531-001 ELECTRODE ALUMINUM ANOD
Stec MFC SEC-4400, SEC-4400M, Ar, 300 SCCM, S3893
3 Varian 111164002 Couplings with flanges
NEC NR3311TX-185 microwave transmitter
IPEC Speedfam Novellus 960262 Arm, Assembly Rest.
MKS RGA Spectra Microvsion or HPQ2 + Vacuum Controller
RGA MKS Spectra Microvsion or HPQ2 & Vacuum Controlrer
AMAT 0040-06596 TXZ lid plate
KS 226A-29444 Differential pressure transducer
STEC LF-410A-EVD,TEO?S, 1.0g/min liquid flow controller
SPECK 08-0096-02326, Pump, 6 GPM, Novellus 27-291844-00
MKS BARATRON 122BA-00100EB, 100 TORR
Novellus 60-183488-00 assy, Pneumatic bank #1, Fest